As yarı iletkenMikroelektronik teknolojileri daha yüksek performans ve entegrasyon yönünde geliştikçe, elektronik özel gazlarının saflığına yönelik gereksinimler de artmaktadır. Yüksek saflıkta gaz borulama teknolojisi, yüksek saflıkta gaz tedarik sisteminin önemli bir parçasıdır. Nitelikli kaliteyi korurken, gaz kullanım noktalarına gereksinimleri karşılayan yüksek saflıkta gazların ulaştırılmasında kilit teknolojidir.
Yüksek saflıkta borulama teknolojisi, sistemin doğru tasarımını, boru bağlantı parçalarının ve yardımcı malzemelerin seçimini, yapım ve montajı ile test işlemlerini içerir.
01Gaz iletim borularının genel konsepti
Yüksek saflık ve temizlikteki tüm gazların, boru hatları aracılığıyla nihai gaz noktasına taşınması gerekmektedir. Gaz ihracat endeksi belirli olduğunda, gaz için proses kalite gereksinimlerini karşılamak amacıyla boru hattı sisteminin malzeme seçimi ve yapım kalitesine daha fazla dikkat edilmesi gerekmektedir. Gaz üretim veya arıtma ekipmanının doğruluğuna ek olarak, boru hattı sisteminin birçok faktörü de büyük ölçüde etkilenmektedir. Bu nedenle, boru seçiminde ilgili arıtma endüstrisi prensiplerine uyulmalı ve çizimlerde boruların malzemesi belirtilmelidir.
02Gaz taşımacılığında yüksek saflıkta boru hatlarının önemi
Yüksek saflıkta gaz taşımacılığında yüksek saflıkta boru hatlarının önemi: Paslanmaz çelik eritme işlemi sırasında, her ton yaklaşık 200 gram gaz emebilir. Paslanmaz çelik işlendikten sonra, çeşitli kirleticiler yüzeyine yapışmakla kalmaz, aynı zamanda belirli bir miktar gaz da metal kafesine emilir. Boru hattından hava akımı geçtiğinde, metal tarafından emilen gazın bir kısmı tekrar hava akımına karışarak saf gazı kirletir.
Borudaki hava akışı kesintili olduğunda, boru içinden geçen gaz üzerinde basınç adsorpsiyonu oluşturur. Hava akışı durduğunda, boru tarafından adsorbe edilen gaz basınç düşüşüne neden olur ve adsorbe edilen gaz da borudaki saf gazın içine bir kirlilik maddesi olarak karışır.
Aynı zamanda, adsorpsiyon ve analiz döngüsü, borunun iç yüzeyindeki metalin belirli miktarda toz üretmesine neden olur. Bu metal toz parçacıkları da borudaki saf gazı kirletir. Borunun bu özelliği çok önemlidir. Taşınan gazın saflığını sağlamak için, borunun iç yüzeyinin son derece pürüzsüz olmasının yanı sıra, yüksek aşınma direncine de sahip olması gerekir.
Gazın aşındırıcı özellikleri yüksek olduğunda, borulama için korozyona dayanıklı paslanmaz çelik borular kullanılmalıdır. Aksi takdirde, korozyon nedeniyle borunun iç yüzeyinde korozyon lekeleri oluşacaktır. Ciddi durumlarda, büyük metal parçaları soyulabilir veya hatta delinebilir, bu da taşınan saf gazı kirletebilir.
03 Boru malzemesi
Boru malzemesi seçimi, kullanım ihtiyaçlarına göre yapılmalıdır. Borunun kalitesi genellikle borunun iç yüzeyinin pürüzlülüğüne göre ölçülür. Pürüzlülük ne kadar düşükse, partikül taşıma olasılığı o kadar azdır. Genel olarak üç tipe ayrılır:
BiriEP sınıfı 316L boruElektrolitik olarak parlatılmış (elektro-parlatma) bir malzemedir. Korozyona dayanıklıdır ve düşük yüzey pürüzlülüğüne sahiptir. Rmax (maksimum tepe-vadi yüksekliği) yaklaşık 0,3 μm veya daha azdır. En yüksek düzlüğe sahiptir ve mikro girdap akımları oluşturması kolay değildir. Kirlenmiş parçacıkları uzaklaştırır. İşlemde kullanılan reaksiyon gazı bu seviyede borularla iletilmelidir.
BiriBA notu 316LParlak tavlama işlemine tabi tutulmuş ve genellikle çiple temas eden ancak işlem reaksiyonuna katılmayan gazlar için kullanılan GN2 ve CDA gibi borular vardır. Bir diğeri ise AP (Tavlama ve Seçici) borudur; bu boru özel bir işlemden geçirilmez ve genellikle gaz besleme hatları olarak kullanılmayan çift dış boru setleri için kullanılır.
04 Boru hattı inşaatı
Boru ağzının işlenmesi, bu inşaat teknolojisinin kilit noktalarından biridir. Boru hattı kesimi ve ön imalatı temiz bir ortamda gerçekleştirilir ve aynı zamanda kesimden önce boru hattının yüzeyinde zararlı iz veya hasar olmaması sağlanır. Boru hattı açılmadan önce boru hattında azotla yıkama için hazırlıklar yapılmalıdır. Prensip olarak, yüksek saflık ve yüksek temizlik gerektiren, yüksek akışlı gaz iletim ve dağıtım boru hatlarının bağlantısında kaynak kullanılır, ancak doğrudan kaynak yapılmasına izin verilmez. Muhafaza bağlantıları kullanılmalı ve kullanılan boru malzemesinin kaynak sırasında yapısında değişiklik olmaması gerekmektedir. Çok yüksek karbon içeriğine sahip malzeme kaynaklanırsa, kaynak bölgesinin hava geçirgenliği, borunun içindeki ve dışındaki gazın birbirine nüfuz etmesine neden olarak, taşınan gazın saflığını, kuruluğunu ve temizliğini bozacak ve bu da ciddi sonuçlara yol açarak üretim kalitesini etkileyecektir.
Özetle, yüksek saflıkta gaz ve özel gaz iletim boru hatları için özel işlem görmüş yüksek saflıkta paslanmaz çelik boru kullanılması gerekmektedir; bu da yüksek saflıkta boru hattı sisteminin (boru hatları, boru bağlantı parçaları, vanalar, VMB, VMP dahil) yüksek saflıkta gaz dağıtımında hayati bir görev üstlenmesini sağlamaktadır.
Yayın tarihi: 26 Kasım 2024