As yarı iletkenve mikroelektronik teknolojileri daha yüksek performans ve daha yüksek entegrasyona doğru gelişirken, elektronik özel gazların saflığına daha yüksek gereksinimler getirilir. Yüksek saflıkta gaz borulama teknolojisi, yüksek saflıkta gaz tedarik sisteminin önemli bir parçasıdır. Nitelikli kaliteyi korurken gereksinimleri karşılayan yüksek saflıkta gazları gaz kullanım noktalarına ulaştırmak için anahtar teknolojidir.
Yüksek saflıkta borulama teknolojisi, sistemin doğru tasarlanmasını, boru bağlantı parçalarının ve yardımcı malzemelerin seçilmesini, inşaat, montaj ve test işlemlerini içerir.
01Gaz iletim borularının genel konsepti
Tüm yüksek saflıkta ve yüksek temizlikte gazların boru hatları aracılığıyla terminal gaz noktasına taşınması gerekir. Gaz için proses kalite gereksinimlerini karşılamak için, gaz ihracat endeksi kesin olduğunda, boru sisteminin malzeme seçimine ve yapı kalitesine daha fazla dikkat etmek gerekir. Gaz üretim veya arıtma ekipmanının doğruluğuna ek olarak, boru hattı sisteminin birçok faktöründen büyük ölçüde etkilenir. Bu nedenle, boru seçimi ilgili arıtma endüstrisi ilkelerine uymalı ve çizimlerde boruların malzemesini işaretlemelidir.
02Gaz taşımacılığında yüksek saflıkta boru hatlarının önemi
Yüksek saflıkta gaz taşımacılığında yüksek saflıkta boru hatlarının önemi Paslanmaz çelik eritme işlemi sırasında her ton yaklaşık 200 g gaz emebilir. Paslanmaz çelik işlendikten sonra, sadece çeşitli kirleticiler yüzeyine yapışmakla kalmaz, aynı zamanda metal kafesine belirli miktarda gaz da emilir. Boru hattından hava akışı geçtiğinde, metal tarafından emilen gazın bir kısmı hava akışına tekrar girecek ve saf gazı kirletecektir.
Borudaki hava akışı kesikli olduğunda, boru içinden geçen gaz üzerinde basınç adsorpsiyonu oluşturur. Hava akışı geçtiğinde, boru tarafından adsorbe edilen gaz basınç düşüşü analizi oluşturur ve analiz edilen gaz da borudaki saf gaza bir kirlilik olarak girer.
Aynı zamanda, adsorpsiyon ve analiz döngüsü borunun iç yüzeyindeki metalin belirli miktarda toz üretmesine neden olacaktır. Bu metal tozu partikülü ayrıca borudaki saf gazı kirletir. Borunun bu özelliği çok önemlidir. Taşınan gazın saflığını sağlamak için, borunun iç yüzeyinin son derece yüksek bir pürüzsüzlüğe sahip olması gerektiği gibi, aynı zamanda yüksek aşınma direncine sahip olması da gerekir.
Gaz güçlü aşındırıcı özelliklere sahip olduğunda, borulama için korozyona dayanıklı paslanmaz çelik borular kullanılmalıdır. Aksi takdirde, korozyon nedeniyle borunun iç yüzeyinde korozyon lekeleri belirir. Ciddi durumlarda, büyük metal parçaları soyulur veya hatta delinir ve böylece taşınan saf gaz kirlenir.
03Boru malzemesi
Borunun malzeme seçimi kullanım ihtiyaçlarına göre seçilmelidir. Borunun kalitesi genellikle borunun iç yüzeyinin pürüzlülüğüne göre ölçülür. Pürüzlülük ne kadar düşükse parçacık taşıma olasılığı o kadar azdır. Genellikle üç türe ayrılır:
BiriEP sınıfı 316L boru, elektrolitik olarak parlatılmış (Electro-Polish). Korozyona dayanıklıdır ve düşük yüzey pürüzlülüğüne sahiptir. Rmax (maksimum tepe-vadi yüksekliği) yaklaşık 0,3 μm veya daha azdır. En yüksek düzlüğe sahiptir ve mikro girdap akımları oluşturması kolay değildir. Kirlenmiş parçacıkları temizleyin. İşlemde kullanılan reaksiyon gazı bu seviyede borulanmalıdır.
Biri birBA derecesi 316LBright Anneal tarafından işlenmiş ve genellikle çiple temas halinde olan ancak işlem reaksiyonuna katılmayan gazlar için kullanılan boru, örneğin GN2 ve CDA. Biri AP borudur (Tavlama ve Toplama), özel olarak işlenmemiş ve genellikle gaz besleme hatları olarak kullanılmayan çift dış boru setleri için kullanılır.
04 Boru hattı inşaatı
Boru ağzının işlenmesi bu inşaat teknolojisinin temel noktalarından biridir. Boru hattı kesimi ve ön imalatı temiz bir ortamda yapılır ve aynı zamanda kesmeden önce boru hattının yüzeyinde zararlı izler veya hasar olmadığından emin olunur. Boru hattı açılmadan önce boru hattında azot yıkama hazırlıkları yapılmalıdır. Prensip olarak, büyük akışlı yüksek saflıkta ve yüksek temizlikte gaz iletim ve dağıtım boru hatlarını bağlamak için kaynak kullanılır, ancak doğrudan kaynak yapılmasına izin verilmez. Kılıf bağlantıları kullanılmalı ve kullanılan boru malzemesinin kaynak sırasında yapısında herhangi bir değişiklik olmaması gerekir. Karbon içeriği çok yüksek olan malzeme kaynak yapılırsa, kaynak parçasının hava geçirgenliği borunun içindeki ve dışındaki gazın birbirine nüfuz etmesine neden olarak, ileten gazın saflığını, kuruluğunu ve temizliğini bozar, bu da ciddi sonuçlara yol açar ve üretim kalitesini etkiler.
Özetle, yüksek saflıktaki gaz ve özel gaz iletim hatlarında, özel işlem görmüş yüksek saflıkta paslanmaz çelik boru kullanılması zorunludur, bu da yüksek saflıktaki boru hattı sisteminin (boru hatları, boru bağlantı parçaları, vanalar, VMB, VMP) yüksek saflıktaki gaz dağıtımında hayati bir görev üstlenmesini sağlar.
Yayınlanma zamanı: 26-Kas-2024