As yarı iletkenve mikroelektronik teknolojileri daha yüksek performansa ve daha yüksek entegrasyona doğru geliştikçe, elektronik özel gazların saflığı konusunda daha yüksek gereksinimler ortaya çıkmaktadır. Yüksek saflıkta gaz boru teknolojisi, yüksek saflıkta gaz besleme sisteminin önemli bir parçasıdır. İhtiyaçları karşılayan yüksek saflıkta gazların, kaliteli kaliteyi koruyarak gaz kullanım noktalarına ulaştırılmasında anahtar teknolojidir.
Yüksek saflıkta boru teknolojisi, sistemin doğru tasarımını, boru bağlantı parçalarının ve yardımcı malzemelerin seçimini, inşaatı, kurulumu ve test edilmesini içerir.
01Gaz iletim borularının genel konsepti
Tüm yüksek saflıkta ve yüksek temizliğe sahip gazların boru hatları aracılığıyla terminal gaz noktasına taşınması gerekmektedir. Gazın proses kalite gereksinimlerini karşılamak için, gaz ihracat endeksi belirli olduğunda boru sisteminin malzeme seçimine ve yapım kalitesine daha fazla dikkat edilmesi gerekir. Gaz üretim veya arıtma ekipmanının doğruluğuna ek olarak boru hattı sisteminin birçok faktöründen de büyük ölçüde etkilenir. Bu nedenle boru seçiminde ilgili arıtma endüstrisi prensiplerine uyulması ve boruların malzemesinin çizimlerde işaretlenmesi gerekmektedir.
02Gaz taşımacılığında yüksek saflıkta boru hatlarının önemi
Yüksek saflıkta gaz taşımacılığında yüksek saflıkta boru hatlarının önemi Paslanmaz çelik eritme işlemi sırasında her ton yaklaşık 200 g gazı emebilir. Paslanmaz çelik işlendikten sonra sadece yüzeyine çeşitli kirleticiler yapışmaz, aynı zamanda metal kafesi tarafından da belirli miktarda gaz emilir. Boru hattından hava akışı olduğunda, metal tarafından emilen gazın bir kısmı tekrar hava akışına girecek ve saf gazı kirletecektir.
Borudaki hava akışı kesintili olduğunda boru içinden geçen gaz üzerinde basınç adsorpsiyonu oluşturur. Hava akışı durduğunda borunun emdiği gaz basınç düşürme analizini oluşturur ve analiz edilen gaz da yabancı madde olarak borudaki saf gaza girer.
Aynı zamanda adsorpsiyon ve analiz döngüsü borunun iç yüzeyindeki metalin belirli miktarda toz üretmesine neden olacaktır. Bu metal tozu parçacığı aynı zamanda borunun içindeki saf gazı da kirletir. Borunun bu özelliği çok önemlidir. Taşınan gazın saflığını sağlamak için borunun iç yüzeyinin son derece yüksek pürüzsüzlüğe sahip olması değil, aynı zamanda aşınma direncinin de yüksek olması gerekir.
Gazın güçlü aşındırıcı özellikleri olduğunda, boru tesisatı için korozyona dayanıklı paslanmaz çelik borular kullanılmalıdır. Aksi halde borunun iç yüzeyinde korozyondan dolayı korozyon lekeleri oluşacaktır. Ciddi durumlarda, büyük metal parçaları soyulacak veya hatta delinecek ve böylece taşınan saf gazın kirlenmesine neden olacaktır.
03Boru malzemesi
Borunun malzeme seçiminin kullanım ihtiyaçlarına göre seçilmesi gerekmektedir. Borunun kalitesi genellikle borunun iç yüzeyinin pürüzlülüğüne göre ölçülür. Pürüzlülük ne kadar düşük olursa parçacıkları taşıma olasılığı da o kadar az olur. Genel olarak üç türe ayrılır:
BiriEP sınıfı 316L boruelektrolitik olarak parlatılmış (Electro-Polish). Korozyona dayanıklıdır ve yüzey pürüzlülüğü düşüktür. Rmax (tepeden vadiye maksimum yükseklik) yaklaşık 0,3μm veya daha azdır. En yüksek düzlüğe sahiptir ve mikro girdap akımları oluşturmak kolay değildir. Kirlenmiş parçacıkları çıkarın. Proseste kullanılan reaksiyon gazı bu seviyede borularla aktarılmalıdır.
Biri birBA notu 316LBright Tavlama ile işlenen ve genellikle çiple temas halinde olan ancak GN2 ve CDA gibi proses reaksiyonuna katılmayan gazlar için kullanılan boru. Bunlardan biri, özel olarak işlenmemiş olan ve genellikle gaz besleme hatları olarak kullanılmayan çift takım dış borular için kullanılan AP borusudur (Tavlama ve Toplama).
04 Boru hattı inşaatı
Boru ağzının işlenmesi bu inşaat teknolojisinin kilit noktalarından biridir. Boru hattının kesimi ve prefabrikasyonu temiz bir ortamda yapılmakta aynı zamanda kesim öncesinde boru hattının yüzeyinde zararlı iz veya hasar kalmaması sağlanmaktadır. Boru hattı açılmadan önce boru hattındaki nitrojenin yıkanması için hazırlıklar yapılmalıdır. Prensip olarak kaynak, yüksek saflıkta ve yüksek temizliğe sahip gaz iletim ve dağıtım boru hatlarını büyük akışla bağlamak için kullanılır, ancak doğrudan kaynağa izin verilmez. Muhafaza bağlantıları kullanılmalı, kullanılan boru malzemesinin kaynak sırasında yapısında değişiklik olmaması gerekmektedir. Karbon içeriği çok yüksek olan malzemeye kaynak yapılması durumunda, kaynak kısmının hava geçirgenliği, borunun içindeki ve dışındaki gazların birbirine nüfuz etmesine neden olacak ve taşıma gazının saflığını, kuruluğunu ve temizliğini bozacak ve bu da ciddi sonuçlara yol açacaktır. ve üretim kalitesini etkiler.
Özetle, yüksek saflıkta gaz ve özel gaz iletim boru hatları için, yüksek saflıkta boru hattı sisteminin (boru hatları, boru bağlantı parçaları, vanalar, VMB, VMP dahil) daha fazla yer kaplamasını sağlayan, özel olarak işlenmiş yüksek saflıkta paslanmaz çelik bir boru kullanılmalıdır. yüksek saflıkta gaz dağıtımında hayati bir görev.
Gönderim zamanı: 26 Kasım 2024