1. Dökme Gaz Sistemi Tanımı:
İnert gazların depolanması ve basınç kontrolü Gaz türleri: Tipik inert gazlar (azot, argon, basınçlı hava, vb.)
Boru hattı boyutu: 1/4'ten (izleme boru hattı) 12 inç ana boru hattına kadar
Sistemin ana ürünleri şunlardır: diyaframlı vana/körüklü vana/küresel vana, yüksek saflıkta konnektör (VCR, kaynak formu), yüksük konnektör, basınç ayar vanası, basınç göstergesi vb.
Şu anda yeni sistem, depolama ve nakliye için sabit gaz tüpleri veya tanker kamyonları kullanan özel bir toplu gaz sistemini de içeriyor.
2. Arıtma Sistemi Tanımı:
Yüksek saflıkta gaz boru hatları için dökme gazlardan yabancı maddelerin uzaklaştırılması
3. Gaz Dolapları Tanımı:
Özel gaz kaynaklarına (toksik, yanıcı, reaktif, korozif gazlar) yönelik basınç kontrolü ve akış takibi sağlama ve gaz tüplerini değiştirme özelliğine sahip olma.
Konum: Özel gazların depolanması için alt fabrika katında veya alt katta bulunur Kaynak: NF3, SF6, WF6, vb.
Boru hattı boyutu: Dahili gaz boru hattı, genellikle proses boru hattı için 1/4 inç, esas olarak yüksek saflıkta nitrojen temizleme boru hattı için 1/4-3/8 inç.
Ana ürünler: Yüksek saflıkta diyafram valfleri, çek valfler, basınç göstergeleri, basınç göstergeleri, yüksek saflıkta konektörler (VCR, kaynak formu) Bu gaz dolapları, sürekli gaz beslemesini ve silindirlerin güvenli bir şekilde değiştirilmesini sağlamak için temel olarak silindirler için otomatik anahtarlama yetenekleri içerir.
4. Dağıtım Tanımı:
Gaz kaynağının gaz toplama bobinine bağlanması
Hat boyutu: Çip fabrikasında dökme gaz dağıtım boru hattının boyutu genellikle 1/2 inç ila 2 inç arasında değişir.
Bağlantı şekli: Özel gaz boru hatları genellikle kaynak bağlantısının güçlü sızdırmazlık güvenilirliğine sahip olması nedeniyle herhangi bir mekanik bağlantı veya diğer hareketli parça olmadan kaynakla bağlanır.
Bir çip fabrikasında, gaz iletimine bağlı, temel olarak yaklaşık 20 fit uzunluğunda ve birbirine kaynaklanmış yüzlerce kilometrelik boru sistemi bulunmaktadır. Bazı boru bükümleri ve boru şeklindeki kaynak bağlantıları da çok yaygındır.
5. Çok fonksiyonlu vana kutusu (Vana Manifold Kutusu, VMB) Tanım:
Özel gazların gaz kaynağından farklı ekipman uçlarına dağıtılmasıdır.
Dahili boru hattı boyutu: 1/4 inç proses boru hattı ve 1/4 - 3/8 inç temizleme boru hattı. Sistem, çalıştırılan valflere ihtiyaç duymak veya manuel valflerin kullanıldığı daha düşük maliyetli durumlar için bilgisayar kontrolünü kullanabilir.
Sistem ürünleri: yüksek saflıkta diyaframlı vanalar/körüklü vanalar, çek valfler, yüksek saflıkta bağlantılar (VCR, mikro kaynak formu), basınç ayar vanaları, manometreler ve manometreler vb. Bazı inert gazların dağıtımı için Vana Manifold Paneli - Esas olarak açık gaz diski yüzeyine sahip olan ve kapalı alan tasarımı ve ilave nitrojen tahliyesi gerektirmeyen VMP (çok fonksiyonlu valf diski) kullanılır.
6. İkincil valf plakası/kutusu (Alet Bağlantı Paneli) Tanım:
Yarı iletken ekipmanın ihtiyaç duyduğu gazı gaz kaynağından ekipmanın ucuna bağlayın ve ilgili basınç regülasyonunu sağlayın. Bu panel, ekipman ucuna VMB'den (çok fonksiyonlu vana kutusu) daha yakın olan bir gaz kontrol sistemidir.
Gaz boru hattı boyutu: 1/4 - 3/8 inç
Sıvı boru hattı boyutu: 1/2 - 1 inç
Deşarj boru hattı boyutu: 1/2 - 1 inç
Ana ürünler: diyaframlı vana/körüklü vana, tek yönlü vana, basınç ayar vanası, basınç göstergesi, basınç göstergesi, yüksek saflıkta bağlantı (VCR, mikro kaynak), yüksük bağlantı, küresel vana, hortum vb.
Gönderim zamanı: 22 Kasım 2024