1. Toplu Gaz Sistemi Tanımı:
İnert gazların depolanması ve basınç kontrolü Gaz türleri: Tipik inert gazlar (azot, argon, basınçlı hava, vb.)
Boru hattı boyutu: 1/4'ten (izleme boru hattı) 12 inç ana boru hattına
Sistemin ana ürünleri: diyafram vana/körük vana/küresel vana, yüksek saflıkta konnektör (VCR, kaynak formlu), ferül konnektör, basınç ayar vanası, basınç göstergesi, vb.'dir.
Şu anda yeni sistemde, depolama ve taşıma için sabit gaz tüpleri veya tankerler kullanan toplu özel gaz sistemi de yer alıyor.
2. Arıtma Sistemi Tanımı:
Yüksek saflıktaki gaz boru hatları için toplu gazlardan kirliliklerin uzaklaştırılması
3. Gaz Dolapları Tanımı:
Özel gaz kaynakları (toksik, yanıcı, reaktif, aşındırıcı gazlar) için basınç kontrolü ve akış izlemesi sağlayın ve gaz tüplerini değiştirme olanağına sahip olun.
Yer: Subfabrik katta veya özel gazların depolanması için zemin katta bulunur Kaynak: NF3, SF6, WF6, vb.
Boru hattı boyutu: Dahili gaz boru hattı, genellikle proses boru hattı için 1/4 inç, yüksek saflıkta nitrojen temizleme boru hattı için çoğunlukla 1/4-3/8 inç.
Ana ürünler: Yüksek saflıkta diyafram vanaları, çek valfler, basınç göstergeleri, basınç göstergeleri, yüksek saflıkta konnektörler (VCR, kaynak formlu) Bu gaz dolapları temel olarak sürekli gaz temini ve silindirlerin güvenli bir şekilde değiştirilmesini sağlamak için silindirler için otomatik anahtarlama yetenekleri içerir.
4. Dağıtım Tanımı:
Gaz kaynağının gaz toplama bobinine bağlanması
Hat boyutu: Çip fabrikasında, toplu gaz dağıtım boru hattının boyutu genellikle 1/2 inç ile 2 inç arasında değişir.
Bağlantı şekli: Özel gaz boru hatları genellikle mekanik bağlantı veya diğer hareketli parçalar olmadan kaynakla bağlanır, bunun başlıca nedeni kaynak bağlantısının güçlü sızdırmazlık güvenilirliğine sahip olmasıdır.
Bir çip fabrikasında, gazı iletmek için birbirine bağlı yüzlerce kilometrelik borular vardır ve bunlar temel olarak yaklaşık 20 fit uzunluğundadır ve kaynaklanmıştır. Bazı boru kıvrımları ve boru kaynak bağlantıları da oldukça yaygındır.
5. Çok fonksiyonlu vana kutusu (Valf Manifold Kutusu, VMB) Tanımı:
Gaz kaynağından özel gazların çeşitli ekipman uçlarına dağıtılmasıdır.
Dahili boru hattı boyutu: 1/4 inç işlem boru hattı ve 1/4 - 3/8 inç temizleme boru hattı. Sistem, çalıştırılan vanalar veya manuel vanalarla daha düşük maliyetli durumlar gerektirmek için bilgisayar kontrolünü kullanabilir.
Sistem ürünleri: yüksek saflıkta diyafram vanaları/körük vanaları, çek valfler, yüksek saflıkta bağlantılar (VCR, mikro kaynak formu), basınç düzenleme vanaları, basınç göstergeleri ve manometreler, vb. Bazı inert gazların dağıtımı için çoğunlukla açık gaz diski yüzeyine sahip olan ve kapalı alan tasarımı ve ek azot temizlemesi gerektirmeyen Vana Manifold Paneli - VMP (çok işlevli vana diski) kullanılır.
6. İkincil vana plakası/kutusu (Alet Bağlantı Paneli) Tanımı:
Yarı iletken ekipmanın ihtiyaç duyduğu gazı gaz kaynağından ekipman ucuna bağlayın ve karşılık gelen basınç düzenlemesini sağlayın. Bu panel, VMB'den (çok işlevli valf kutusu) ekipman ucuna daha yakın olan bir gaz kontrol sistemidir.
Gaz boru hattı boyutu: 1/4 - 3/8 inç
Sıvı boru hattı boyutu: 1/2 - 1 inç
Deşarj boru hattı boyutu: 1/2 - 1 inç
Başlıca ürünler: diyafram vana/körük vana, tek yönlü vana, basınç ayar vanası, manometre, basınç göstergesi, yüksek saflıkta bağlantı (VCR, mikro kaynak), ferül bağlantı, küresel vana, hortum, vb.
Gönderi zamanı: 22-Kas-2024