1. Toplu Gaz Sistemi Tanımı:
Soy gazların depolanması ve basınç kontrolü Gaz türleri: Tipik soy gazlar (azot, argon, basınçlı hava vb.)
Boru çapı: 1/4 inç (izleme boru hattı) ile 12 inç ana boru hattı arasında.
Sistemin başlıca ürünleri şunlardır: diyafram vanası/körük vanası/küresel vana, yüksek saflıkta bağlantı elemanı (VCR, kaynaklı), yüksük bağlantı elemanı, basınç düzenleme vanası, basınç göstergesi vb.
Yeni sistem şu anda, depolama ve taşıma için sabit gaz tüpleri veya tanker kamyonları kullanan toplu özel gaz sistemini de içermektedir.
2. Arıtma Sistemi Tanımı:
Yüksek saflıkta gaz boru hatları için toplu gazlardan safsızlıkların giderilmesi
3. Gaz Dolapları Tanımı:
Özel gaz kaynakları (zehirli, yanıcı, reaktif, aşındırıcı gazlar) için basınç kontrolü ve akış izleme olanağı sağlayın ve gaz tüplerini değiştirme yeteneğine sahip olun.
Yer: Özel gazların depolanması için alt yapı katında veya zemin katta bulunur. Kaynak: NF3, SF6, WF6, vb.
Boru çapı: İç gaz boru hatları için genellikle proses boru hatları için 1/4 inç, yüksek saflıkta azot temizleme boru hatları için ise çoğunlukla 1/4-3/8 inç kullanılır.
Başlıca ürünler: Yüksek saflıkta diyafram vanaları, çek valfler, basınç göstergeleri, yüksek saflıkta bağlantı elemanları (VCR, kaynak tipi). Bu gaz kabinleri temel olarak, sürekli gaz tedarikini ve tüplerin güvenli bir şekilde değiştirilmesini sağlamak için tüpler için otomatik anahtarlama özelliklerine sahiptir.
4. Dağıtım Tanımı:
Gaz kaynağının gaz toplama bobinine bağlanması
Boru çapı: Çip fabrikasında, toplu gaz dağıtım boru hattının çapı genellikle 1/2 inç ile 2 inç arasında değişir.
Bağlantı şekli: Özel doğalgaz boru hatları genellikle kaynak yöntemiyle bağlanır; mekanik bağlantı veya diğer hareketli parçalar kullanılmaz. Bunun temel nedeni, kaynak bağlantısının yüksek sızdırmazlık güvenilirliğine sahip olmasıdır.
Çip fabrikasında, gaz iletimi için yüzlerce kilometre uzunluğunda, genellikle yaklaşık 6 metre uzunluğunda ve birbirine kaynaklanmış borular bulunur. Borularda bazı bükülmeler ve boru kaynak bağlantıları da oldukça yaygındır.
5. Çok fonksiyonlu vana kutusu (Vana Manifold Kutusu, VMB) Tanım:
Bu, özel gazları gaz kaynağından farklı ekipman uçlarına dağıtmak anlamına gelir.
İç boru hattı çapı: 1/4 inç proses boru hattı ve 1/4 - 3/8 inç tahliye boru hattı. Sistem, kumandalı vanalar gerektiren durumlarda bilgisayar kontrolü kullanabilir veya manuel vanalarla maliyeti düşürebilir.
Sistem ürünleri: yüksek saflıkta diyafram vanaları/körük vanaları, çek valfler, yüksek saflıkta bağlantı elemanları (VCR, mikro kaynak formu), basınç düzenleme vanaları, basınç göstergeleri vb. Bazı inert gazların dağıtımı için, açık gaz diski yüzeyine sahip ve kapalı alan tasarımına ve ek azot tahliyesine ihtiyaç duymayan Vana Manifold Paneli - VMP (çok fonksiyonlu vana diski) esas olarak kullanılmaktadır.
6. İkincil vana plakası/kutusu (Alet Bağlantı Paneli) Tanımı:
Yarı iletken ekipmanının ihtiyaç duyduğu gazı, gaz kaynağından ekipman ucuna bağlayın ve ilgili basınç düzenlemesini sağlayın. Bu panel, VMB'ye (çok fonksiyonlu vana kutusu) göre ekipman ucuna daha yakın bir gaz kontrol sistemidir.
Doğalgaz boru hattı çapı: 1/4 - 3/8 inç
Sıvı boru hattı çapı: 1/2 - 1 inç
Tahliye boru hattı çapı: 1/2 - 1 inç
Başlıca ürünler: diyafram vanası/körük vanası, tek yönlü vana, basınç düzenleme vanası, basınç göstergesi, yüksek saflıkta bağlantı (VCR, mikro kaynak), yüksük bağlantı, küresel vana, hortum vb.
Yayın tarihi: 22 Kasım 2024